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差壓傳感器
型號:VR-55PT?TCD系列
概述:高耐壓差壓傳感器
規格:精度±0.5%F.S. 量程±1～10kPa 耐壓1MPa
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光電開關小型壓力表
型號:JK50系列
概述:用于控制壓力報警輸出
規格:量程：-0.1～35MPa 顯示精度：±2%F.S.
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通用型高純氣壓力表
型號:GW11/16系列
概述:半導體行業用測量高純氣體壓力表
規格:量程：-0.1～100MPa 精度：±1.5%F.S.
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小型高純氣壓力表
型號:GW28系列
概述:半導體行業用測量高純氣體壓力表
規格:量程：-0.1～25MPa 精度：±1.5%F.S.
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高純氣數字壓力表
型號:ZT60系列
概述:半導體行業用測量高純氣體用數字壓力表
規格:量程：-0.1～20MPa 精度：±1%F.S.
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小型高純氣數字壓力表
型號:ZT67系列
概述:半導體行業用測量高純氣體用數字壓力表
規格:量程：-0.1～20MPa 精度：±1%F.S.
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高純氣用壓力開關
型號:CB14系列
概述:半導體行業用壓力開關
規格:量程：-0.1～2.1MPa 精度：±1%F.S.
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小型高純氣壓力傳感器
型號:ZT11系列
概述:半導體設備的超純氣體壓力測量
規格:量程：0-20MPa 絕壓：0-1MPa abs 精度：±0.25%或±0.5%F.S.
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半導體行業用壓力傳感器
型號:ZT15系列
概述:半導體設備的超純氣體壓力測量
規格:量程：0-20MPa 絕壓：0-1MPa abs 精度：±1%或±0.5%F.S.
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本安防爆傳感器
型號:KJ96系列
概述:半導體設備的超純氣體壓力測量
規格:量程：-0.1-20MPa 精度：±1%或±0.5%F.S.
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高精度電氣比例閥
型號:APU系列
概述:高精度閉環反饋，快速響應，自動壓力/流量控制器
規格:壓力范圍：-99～1000kPa 控制精度0.1%F.S.
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通用型調壓閥
型號:XR56系列
概述:為半導體行業供給系統及設備專門開發制造的調壓閥。
規格:一次壓:2MPa 二次壓:0.01-0.3MPa
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小型調壓閥
型號:XR66系列
概述:為半導體行業開發的大流量小型調壓閥。
規格:一次壓:1MPa 二次壓:0.05-0.7MPa
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